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Distanzmessung im Vakuum

Wegmessung im Vakuum

Vibrationsmessung im Vakuum

Vakuumdurchführungen für Faseroptische Sensoren

Faseroptische Wegaufnehmer sind ideal für Weg- und Positionsmessungen im Vakuum. Sie haben einen großen Temperaturbereich, sind UV-kompatibel, klein und können eine Genauigkeit im Submikrometerbereich aufweisen.

Philtec Vakuumdurchführungs-Hardware ermöglicht die Installation von faseroptischen Sonden in Vakuumkammern für eine Vielzahl von Anwendungen.

Anwendungen für Vakuumdurchführungen

in hohen elektrischen Feldern

in hohen magnetischen Feldern

bei hohen Temperaturen

bei kryogenen Temperaturen

in kryogenen Fluiden

im Ultrahochvakuum

Bv1 Vakuumdurchführung Hardware

Hintergrund

 

Bv1 ist eine beliebte Option für Messungen im Hochvakuum.

Es kann mit verschiedenen Größen von CF- oder KF-Flanschen konfiguriert werden.

Eine Swagelok Ultra-Torr-Kompressionsverschraubung wird an den Flansch gelötet oder geschweißt.

Die Baugruppe ist auf 5x 10-10 std. cc/s He auf Dichtheit geprüft.

Bv1 Serie

Vakuumdurchführung

An der Schnittstelle des LWL Steckers werden Leckagen durch die Fasern wird mit Saphirfenstern über den Faserbündeln abgedichtet.

Schnittstelle des LWL Steckers

Bv1-C133

LWL Durchführung

Eignung Vakuumdurchführungen

Qualität des Vakuums
Torr
Pascal
Philtec Model
Normale Umgebung
760
101kPa
Alle
Niedrig
760 – 25
100 – 3 kPa
Fv1, Fv2, Fv3
Mittel
25 – 1E-3
3 kPa – 100 mPa
Fv1, Fv2, Fv3
Hoch
1E-3 – 1E-7
100 mPa – 1 nPa
Bv1, BvF, W
Ultrahoch
1E-7 – 1E-12
100 nPa – 100 pPa
Bv2, Bv3, Bv4, Wb

Optische Vakuumdurchführungen im Überblick

Model
Hardware
Kanal
Anzahl
Sensor
Typ
Bv1
1
D oder RC
Bv133
1
D oder RC
Bv2
1
D
Bv3
1
RC
BvF-CF
Multi
D und RC
BvF-ISO
Multi
D und RC
Fv1
Fv2
Fv3
1
D und RC
W
1
D und RC
Wb
1
D oder RC