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Distanzmessung im Vakuum

Wegmessung im Vakuum

Vibrationsmessung im Vakuum

Faseroptischer Sensor
Lichtleiter Vakuumdurchführungen

Faseroptische Wegsensoren sind ideal für Weg- und Positionsmessungen im Vakuum. Sie haben einen großen Temperaturbereich, sind UV-kompatibel, klein und können eine Genauigkeit im Submikrometerbereich aufweisen.

Philtec Vakuumdurchführungs-Hardware ermöglicht die Installation von faseroptischen Sonden in Vakuumkammern für eine Vielzahl von Anwendungen.

Vakuumdurchführungen PDF

Anwendungen für Vakuumdurchführungen

  • in hohen elektrischen Feldern
  • in hohen magnetischen Feldern
  • bei hohen Temperaturen
  • bei kryogenen Temperaturen
  • in kryogenen Fluiden
  • im Ultrahochvakuum

Bv1 Vakuumdurchführung Hardware

 

 

 

Hintergrund

 

Bv1 ist eine beliebte Option für Messungen im Hochvakuum.

 
Es kann mit verschiedenen Größen von CF- oder KF-Flanschen konfiguriert werden.

 
Eine Swagelok Ultra-Torr-Kompressionsverschraubung wird an den Flansch gelötet oder geschweißt.

 
Die Baugruppe ist auf 5x 10-10 std. cc/s He auf Dichtheit geprüft.

Bv1 Serie

An der Schnittstelle des LWL Steckers werden Leckagen durch die Fasern wird mit Saphirfenstern über den Faserbündeln abgedichtet.

Bv1-C133

Optische Vakuumdurchführungen im Überblick

Model
Hardware
Kanal
Anzahl
Sensor
Typ
Bv1
1
D oder RC
Bv133
1
D oder RC
Bv2
1
D
Bv3
1
RC
BvF-CF
Multi
D und RC
BvF-ISO
Multi
D und RC
Fv1
Fv2
Fv3
1
D und RC
W
1
D und RC
Wb
1
D oder RC

Eignung Vakuumdurchführungen

Qualität des Vakuums
Torr
Pascal
Philtec Model
Normale Umgebung
760
101kPa
Alle
Niedrig
760 – 25
100 – 3 kPa
Fv1, Fv2, Fv3
Mittel
25 – 1E-3
3 kPa – 100 mPa
Fv1, Fv2, Fv3
Hoch
1E-3 – 1E-7
100 mPa – 1 nPa
Bv1, BvF, W
Ultrahoch
1E-7 – 1E-12
100 nPa – 100 pPa
Bv2, Bv3, Bv4, Wb
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