Distanzmessung im Vakuum
Wegmessung im Vakuum
Vibrationsmessung im Vakuum
Vakuumdurchführungen für Faseroptische Sensoren
Faseroptische Wegaufnehmer sind ideal für Weg- und Positionsmessungen im Vakuum. Sie haben einen großen Temperaturbereich, sind UV-kompatibel, klein und können eine Genauigkeit im Submikrometerbereich aufweisen.
Philtec Vakuumdurchführungs-Hardware ermöglicht die Installation von faseroptischen Sonden in Vakuumkammern für eine Vielzahl von Anwendungen.
Anwendungen für Vakuumdurchführungen
in hohen elektrischen Feldern
in hohen magnetischen Feldern
bei hohen Temperaturen
bei kryogenen Temperaturen
in kryogenen Fluiden
im Ultrahochvakuum
Bv1 Vakuumdurchführung Hardware
Hintergrund
Bv1 ist eine beliebte Option für Messungen im Hochvakuum.
Es kann mit verschiedenen Größen von CF- oder KF-Flanschen konfiguriert werden.
Eine Swagelok Ultra-Torr-Kompressionsverschraubung wird an den Flansch gelötet oder geschweißt.
Die Baugruppe ist auf 5x 10-10 std. cc/s He auf Dichtheit geprüft.
Bv1 Serie
An der Schnittstelle des LWL Steckers werden Leckagen durch die Fasern wird mit Saphirfenstern über den Faserbündeln abgedichtet.
Bv1-C133
Eignung Vakuumdurchführungen
Qualität des Vakuums | Torr | Pascal | Philtec Model |
---|---|---|---|
Normale Umgebung | 760 | 101kPa | Alle |
Niedrig | 760 – 25 | 100 – 3 kPa | Fv1, Fv2, Fv3 |
Mittel | 25 – 1E-3 | 3 kPa – 100 mPa | Fv1, Fv2, Fv3 |
Hoch | 1E-3 – 1E-7 | 100 mPa – 1 nPa | Bv1, BvF, W |
Ultrahoch | 1E-7 – 1E-12 | 100 nPa – 100 pPa | Bv2, Bv3, Bv4, Wb |
Optische Vakuumdurchführungen im Überblick