Distanzmessung im Vakuum
Wegmessung im Vakuum
Vibrationsmessung im Vakuum
Faseroptischer Sensor
Lichtleiter Vakuumdurchführungen
Faseroptische Wegsensoren sind ideal für Weg- und Positionsmessungen im Vakuum. Sie haben einen großen Temperaturbereich, sind UV-kompatibel, klein und können eine Genauigkeit im Submikrometerbereich aufweisen.
Philtec Vakuumdurchführungs-Hardware ermöglicht die Installation von faseroptischen Sonden in Vakuumkammern für eine Vielzahl von Anwendungen.
Anwendungen für Vakuumdurchführungen
- in hohen elektrischen Feldern
- in hohen magnetischen Feldern
- bei hohen Temperaturen
- bei kryogenen Temperaturen
- in kryogenen Fluiden
- im Ultrahochvakuum
Bv1 Vakuumdurchführung Hardware
Hintergrund
Bv1 ist eine beliebte Option für Messungen im Hochvakuum.
Es kann mit verschiedenen Größen von CF- oder KF-Flanschen konfiguriert werden.
Eine Swagelok Ultra-Torr-Kompressionsverschraubung wird an den Flansch gelötet oder geschweißt.
Die Baugruppe ist auf 5x 10-10 std. cc/s He auf Dichtheit geprüft.
Bv1 Serie
An der Schnittstelle des LWL Steckers werden Leckagen durch die Fasern wird mit Saphirfenstern über den Faserbündeln abgedichtet.
Bv1-C133
Eignung Vakuumdurchführungen
Qualität des Vakuums | Torr | Pascal | Philtec Model |
|---|---|---|---|
Normale Umgebung | 760 | 101kPa | Alle |
Niedrig | 760 – 25 | 100 – 3 kPa | Fv1, Fv2, Fv3 |
Mittel | 25 – 1E-3 | 3 kPa – 100 mPa | Fv1, Fv2, Fv3 |
Hoch | 1E-3 – 1E-7 | 100 mPa – 1 nPa | Bv1, BvF, W |
Ultrahoch | 1E-7 – 1E-12 | 100 nPa – 100 pPa | Bv2, Bv3, Bv4, Wb |